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TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀

簡要描述:

瑞士 TRIMOS TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀 ,全自動(dòng)共焦三維測量。具有完善的分析功能模塊,對(duì)其表面形貌進(jìn)行輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等測量。

產(chǎn)品時(shí)間:2020-03-12

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀

Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀,全自動(dòng)共焦三維測量。于刀具制造工業(yè),根據(jù)多點(diǎn)譜線共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自動(dòng)聚焦,快速獲得刀具表面三維形貌,采用此次多點(diǎn)譜線共焦傳感器和圖像處理系統(tǒng),可以對(duì)各種復(fù)雜的刀刃及其模具進(jìn)行準(zhǔn)確的測量,具有完善的分析功能模塊,對(duì)其表面形貌進(jìn)行輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等測量。

 

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主要特點(diǎn):

  • 強(qiáng)大的多點(diǎn)共焦技術(shù),zui準(zhǔn)確的測量出表面形貌數(shù)據(jù)(角度、半徑、輪廓、粗糙度)

  • 通過光學(xué)方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數(shù)

  • 測量速度快,可整合成一個(gè)高效的在線測量系統(tǒng)

  • 適用于陡峭的斜面,爬坡角度高達(dá)85度

  • 垂直分辨率高達(dá)30nm

  • TRSCAN是*可同時(shí)獲得表面形貌和真實(shí)顏色信息的3D測量設(shè)備,測量更加精確靈活

  • 通過腳本自動(dòng)測量,更適用于批量測量,并生成圖形或數(shù)字報(bào)告

  • 粗糙度和輪廓測量符合*EN/ISO4287標(biāo)準(zhǔn)

  • 可用于選定區(qū)域的面積及體積計(jì)算

  • 可選配轉(zhuǎn)臺(tái),實(shí)現(xiàn)三維掃面

  • 可用于復(fù)雜幾何外形的形狀分析,可測量角度、半徑等表面特征

技術(shù)參數(shù):

 

 工作臺(tái)移動(dòng)范圍X 100mm
 工作臺(tái)移動(dòng)范圍Y 固定式
 工作臺(tái)移動(dòng)范圍Z 240mm
 XYZ軸zui小位移量0.1μm 
 XYZ軸定位精度 1μm
 XY軸導(dǎo)軌直線度 1.5μm
 工件zui大重量20kg 
 測量原理非接觸式多點(diǎn)譜線共焦傳感器 
 光源 白色LED共軸光,高強(qiáng)光,數(shù)字可控
 色譜共焦傳感器 CLS0.2 CLS1 CLS4
 線寬 0.96mm 1.92mm 4.8mm
 工作距離 5.3mm18.2mm 39mm 
 光斑間隙5μm10μm 25μm 
 光斑大小 2μm4μm 10μm 
 爬坡坡度 ±44deg  ±33deg  ±20deg
 測量范圍 200μm950μm 4mm 
 軸向分辨率30nm 120nm 500nm 
 精度 90nm360nm 1.5μm 
 厚度zui小分辨率15μm 70μm 300μm 
 測量zui大厚度300μm 1.5mm 6mm 

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